随着
传感器及微加工技术的发展,人们可以在同一衬底材料上制作几种敏感元器件,制成能够检测多个参量的集成化多功能传感器。多功能传感器主要有以下几种不同的工作原理及结构形式:几种不同的敏感元器件制作在同一个硅片上,制成集成化多功能传感器,该种传感器集成度高、体积小,各个敏感元器件的工作氛围相同,容易实现补偿和校正,这是多功能传感器发展的一个方向;几种不问的敏感元器件组合在一起形成一个传感器,可以同时测量几个参数,各敏感元器件是独立的,如将测量温度和测量湿度敏感元件组合在一起.构成温湿度多功能
传感器;用同一个敏感元器件的不同效应,得到不同的信息,如将线圈作为敏感元件,在具有不同磁导率或介电常数物质的作用下,表现出不同的电容和电感。
同一个敏感元件在不同激励下表现出不同特性,例如
传感器施加不同的激励电压、电流,在不同温度下,其特性不同,有时可相窜于几个不同的传感器。有的多功能传感器检测出的几个信息混在一起,需要用信号处理的方法将各种信息进行分离。
就近些年看来,多功能集成化
传感器研究受到国内外的广泛关注,国内外文献报道,已经有用于环境监测、化学分析、生物保护等方面的集成传感器。随着MEMS技术和比技术的不断发展,实现传感器的集成化、多功能化成为可能。
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CAPTRON 100189
CAA-550-H18G4T-PS6/CP174
CAPTRON 100225 CAA-180-H18G4T-PO6/CP174
CAPTRON 100252 ISM-2000/24VDC
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CAPTRON 100364 CHT1-158B-371
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