MEMS器件的便携性、低功耗、低成本促使它在现代军事系统中无处不在，如导航陀螺仪、轻质收音机的微型麦克风，诊断伤员病情的医用生物
传感器等。虽然目前使用MEMS
传感器十分普遍，但他们的工作性能仍低于理论极限的多个量级。导致此现象源于两个障碍：热波动和随机量子波动，被称为标准量子极限屏障。近日美国国防预先研究计划局“光辐射冷却和供暖集成器件”获得突破。提高MEMS性能，克服障碍。克服标准量子极限，或海森堡极限，对器件的量子状态提出精细的工程要求。
“光辐射冷却和供暖集成器件”项目就是将微光学和机械部件组合到一个“光机”器件中。配以新的测量技术，此器件可超越量子极限运行。美国加州理工学院的ORCHID研究人员报道了一个新的方法在一个芯片上生成了“压缩光”。他们的工作在最近发表在自然杂志上，名称为《源自硅微机械谐振器的压缩光》，文中有详细报道。加州理工学院的研究人员使用变形的光学谐振腔，减小幅度波动，产生压缩光，改变了典型的噪声性能。研究人员显著减小光的振幅噪声，而其它参数没有参与测量。总体而言，系统的整体噪声是不变的，只是将噪声从所测量的参数上转移，而不改变先前的研究。这个新计划采用芯片级、硅基技术，可部署应用于
传感器中。
这次突破在在定位、导航和定时实际应用中的具有巨大的重要性。这一研究成果为新一代具备优异性能的MEMS惯性
传感器的发展铺平道路。
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large housing |
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